Dispositif de transfert articule a conduits de fluide incorpores.

Articulated transfer device with built-in fluid pipes

Abstract

<P>Un dispositif de manutention utilisable dans les appareils de manutention de tranches de matériaux semiconducteurs, comprend un bras terminé par un organe de préhension et ayant au moins deux segments successifs (12, 14) reliés l'un à l'autre par une articulation (22) à deux organes concentriques pouvant tourner l'un par rapport à l'autre autour d'un axe commun. Il a des passages de communication de fluide ménagés dans les segments et débouchant dans une même cavité annulaire délimitée par les deux organes concentriques et par des joints portés par un organe et en appui sur l'autre.</P>
A handling device, which can be used in apparatus for handling wafers of semiconductor materials, comprises an arm terminating in a gripper member and having at least two successive segments (12, 14) joined to one another by an articulation (22) with two concentric members which can rotate with respect to each other about a common axis. It has fluid communication passages made in the segments and emerging in one and the same annular cavity which is delimited by the two concentric members and by seals carried by one member and bearing on the other. <IMAGE>

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Patent Citations (6)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
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